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セラメテック関連
加工部門
プラズマCVD PLASMA CVD
お客様からお預かりした品物にコーティングを致します。
| 概要 |
金属、セラミックス、樹脂などにプラズマCVDによりSi系の皮膜を形成します。 |
| 特長 |
SiコーティングはCVDによる高速成膜で厚膜形成が可能 成膜時の温度が低い(200℃以下)ため、アルミニウムやポリイミド等高融点樹脂の素材に適応可能 |
| 具体的な用途 |
半導体製造装置内部のホルダー等部品や防護板からのコンタミネーションの防止 センサー用の基材 |
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製品名:プラズマCVD
DC-SI (Si皮膜)
DC-SIO (SiOx皮膜)
DC-SIN (SiNx皮膜)
DC-SIC (SiCx皮膜)
真空用アイテム
セラメッキ防着シート CERAMECKY PROTECTION SHEET
真空装置内で使用できる各種真空部品を販売しております。
| 概要 |
CVD、PVDやスパッタ成膜装置等の容器内面の清掃には大変な手間と努力を要しています。
「セラメッキ防着シート」を取り付けることによって清浄作業を軽減して成膜装置の運転時間を延長する効果があります。 |
| 特長 |
・シートは加工が容易で、真空容器内面の複雑な形状にも良く対応します。
・シート表面のセラミックス層は、成膜物質が厚く堆積しても強く固着するため、成膜装置のメンテナンス周期を延長できます。
・成膜物質は表面のセラミックス層に捕らえられると容易に剥離しないことから、製品への2次付着が低減され品質向上に役立ちます。
・脱ガス特性が良好なので真空を損なうことがありません。
・腐食ガスの耐食性に優れます。 |
| 具体的な用途 |
CVD、PVD、スパッタリング成膜装置容器の内面に取り付ける汚れ防止シート |
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| シート更新前 |
シート更新後 |
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セラメッキ防着シート 
シートの構造
・シートは、取付に際して洗浄する必要はありません。
・シートは加工が容易ですが、ベーキング(300℃30分)することにより軟化し、さらに取扱い易くなります。
(商品出荷時に、ベーキング処理を施してありません。)
・汚染物質の種類により異なりますが実績として100マイクロメートル以上付着しても剥離しません。
(堆積物が厚くなると脱ガス特性が悪化しますので、シート交換の目安にしてください。)
・汎用部分には50μmタイプ(SI-05-104)、温度が高くなる部分には100μmタイプ(SI-10-104)をお勧めします。
製品名:セラメッキ防着シート
SI-05-104 (母材アルミ 50μm)
SI-10-104 (母材アルミ 100μm)
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