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真空用アイテム

セラメッキ防着シート CERAMECKY PROTECTION SHEET

真空装置内で使用できる各種真空部品を販売しております。

概要	CVD、PVDやスパッタ成膜装置等の容器内面の清掃には大変な手間と努力を要しています。｢セラメッキ防着シート｣を取り付けることによって清浄作業を軽減して成膜装置の運転時間を延長する効果があります。
特長	・シートは加工が容易で、真空容器内面の複雑な形状にも良く対応します。・シート表面のセラミックス層は、成膜物質が厚く堆積しても強く固着するため、成膜装置のメンテナンス周期を延長できます。・成膜物質は表面のセラミックス層に捕らえられると容易に剥離しないことから、製品への２次付着が低減され品質向上に役立ちます。・脱ガス特性が良好なので真空を損なうことがありません。・腐食ガスの耐食性に優れます。
具体的な用途	CVD、PVD、スパッタリング成膜装置容器の内面に取り付ける汚れ防止シート


シート更新前	シート更新後

セラメッキ防着シート

シートの構造

・シートは、取付に際して洗浄する必要はありません。
・シートは加工が容易ですが、ベーキング（300℃30分）することにより軟化し、さらに取扱い易くなります。
（商品出荷時に、ベーキング処理を施してありません。）
・汚染物質の種類により異なりますが実績として100ﾏｲｸﾛﾒｰﾄﾙ以上付着しても剥離しません。
（堆積物が厚くなると脱ガス特性が悪化しますので、シート交換の目安にしてください。）
・汎用部分には50μｍタイプ（SI-05-104)、温度が高くなる部分には100μｍタイプ（SI-10-104)をお勧めします。

製品名：セラメッキ防着シート

SI-05-104 (母材アルミ 50μｍ)

SI-10-104 (母材アルミ 100μｍ)